Controlling Residual Stress and Suppression of Anomalous Grains in Aluminum Scandium Nitride Films Grown Directly on Silicon

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标题	Controlling Residual Stress and Suppression of Anomalous Grains in Aluminum Scandium Nitride Films Grown Directly on Silicon 直接在硅上生长的氮化钪铝薄膜中残余应力的控制和异常晶粒的抑制相关领域材料科学残余应力钪氮化硅氮化物压力（语言学）溅射硅分析化学（期刊）铝薄膜光电子学复合材料图层（电子）冶金纳米技术化学色谱法语言学哲学
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2022.3167430
DOI	10.1109/jmems.2022.3167430 doi
其它	期刊：Journal of microelectromechanical systems 作者：Rossiny Beaucejour; Volker Roebisch; Abhay Kochhar; Craig G. Moe; Michael D. Hodge; et al 出版日期：2022-08-01
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