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A 5.3 GHz Al0.76Sc0.24N Two-Dimensional Resonant Rods Resonator With a kt2 of 23.9%
kt2为23.9%的5.3 GHz Al0.76Sc 0.24 N二维谐振棒谐振器
相关领域
谐振器 物理 分析化学（期刊） 材料科学 立体化学 光电子学 化学 有机化学
网址
https://doi.org/10.1109/jmems.2022.3178978
AI链接 arxiv.org arxiv.org arxiv.org arxiv.orgdoi.org
DOI
10.1109/jmems.2022.3178978 doi
其它 期刊：Journal of Microelectromechanical Systems
作者：Xuanyi Zhao; Onurcan Kaya; Michele Pirro; Meruyert Assylbekova; Luca Colombo; et al
出版日期：2022-08-01
求助人
jinhuanghuiyu 在 2024-09-26 10:49:48 发布自江苏，悬赏 10 积分
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