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Modeling of material removal rate considering the chemical mechanical effects of lubricant, oxidant, and abrasive particles for aluminum chemical mechanical polishing at low pressure
考虑润滑剂、氧化剂和磨粒化学机械效应的铝合金低压化学机械抛光材料去除速率模型
相关领域
润滑油
化学机械平面化
磨料
材料科学
抛光
润滑
铝
摩擦学
刮擦
复合材料
扩散
冶金
热力学
物理
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其它 |
期刊:Wear 作者:Guang Xia; Zi-Rui Wang; Qingyu Yao; Ping Sun; Huaijun Guan; et al 出版日期:2023-10-01 |
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