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书籍(章节) Rapid Diffusion and Gettering Studies of Bulk Oxygen in Silicon by Cs/SIMS
体氧在硅中快速扩散和吸杂的Cs/SIMS研究
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期刊:Springer series in chemical physics 作者:C. A. Evans; B. K. Furman; T. J. Magee 出版日期:1982-01-01 |
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