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 Improving the crystallinity and texture of oblique-angle-deposited AlN thin films using reactive synchronized HiPIMS 利用反应同步HiPIMS改善斜角沉积AlN薄膜的结晶度和织构
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
薄膜
光电子学
溅射
纹理（宇宙学）
物理气相沉积
溅射沉积
复合材料
纳米技术
计算机科学
图像（数学）
人工智能
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| 其它 |
期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Jyotish Patidar; Amit Sharma; Siarhei Zhuk; Giacomo Lorenzin; Claudia Cancellieri; et al 出版日期：2023-09-01 |
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