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[高分] 学位论文 化学机械抛光试验及其材料去除机理的研究
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其它 陈晓春
关键词: 单晶硅片;化学机械抛光;材料去除机理;数学建模;分子量级;
基金资助: 国家自然科学;教育部留学回国人员科研;教育部重点项目;;
专辑: 工程科技Ⅰ辑
专题: 无机化工;有机化工
分类号: TQ050
导师: 赵永武
学科专业: 轻化工技术与工程
博士电子期刊出版信息: 年期:2014年第12期 网络出版时间:2014-11-16—2014-12-15
求助人
以笑儿过 在 2024-09-02 20:26:13 发布自江苏,悬赏 50 积分
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