Position Control in Lithographic Equipment [Applications of Control]

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标题	Position Control in Lithographic Equipment [Applications of Control] 平板印刷设备中的位置控制[控制的应用] 相关领域解耦（概率）执行机构机电一体化平版印刷术控制工程光学（聚焦）计算机科学控制理论（社会学）职位（财务）控制系统工程类控制（管理）人工智能电气工程物理经济光学财务
网址	https://doi.org/10.1109/mcs.2011.941882
DOI	10.1109/mcs.2011.941882 doi
其它	期刊：IEEE Control Systems 作者：Hans Butler 出版日期：2011-10-01
求助人	控制狗在 2024-09-13 22:31:37 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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