发布文献求助
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
待确认
  • 文献求助详情
标题
Contact Edge Roughness In The Etching Of High Aspect Ratio Contacts In Sio2
Sio2中高纵横比触点蚀刻中的触点边缘粗糙度
相关领域
光刻胶 材料科学 纵横比（航空） 平版印刷术 表面光洁度 薄脆饼 微电子 制作 蚀刻（微加工） GSM演进的增强数据速率 表面粗糙度 纳米 光电子学 光学 纳米技术 复合材料 图层（电子） 工程类 病理 电信 医学 物理 替代医学
网址
http://dx.doi.org/10.1109/PLASMA.2017.8496082
DOI
10.1109/PLASMA.2017.8496082 doi
求助人
biliobili 在 2025-01-04 21:47:22 发布自上海，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 1天前

    xjcy xjcy Lv10 上传了文件

    待审核 Contact_Edge_Roughness_In_The_Etching_Of_High_Aspect_Ratio_Contacts_In_Sio2.pdf (984.45 KB)

  • 2天前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    21:47:23 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    21:47:22 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
    21:47:22 已向机器人发送请求

  • 2天前

    biliobili biliobili 求助人 Lv4 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
李爱国的应助被麻辣小牛肉采纳，获得10
8秒前
JasonTan发布了新的文献求助20
14秒前
麻辣小牛肉完成签到，获得积分10
15秒前
风云鱼完成签到，获得积分10
18秒前
fiammazeng的应助被风云鱼采纳，获得10
21秒前
热情依白的应助被浪里白条采纳，获得10
23秒前
27秒前
娜行完成签到 ，获得积分10
37秒前
研友_VZG7GZ的应助被浪里白条采纳，获得10
43秒前
李健的应助被yiooo采纳，获得10
1分钟前
小方完成签到，获得积分10
1分钟前
xjcy的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
小二郎的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
xjcy的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
kookkiki完成签到 ，获得积分10
1分钟前
JasonTan发布了新的文献求助20
1分钟前
1分钟前
1分钟前
子卿发布了新的文献求助10
1分钟前
yiooo发布了新的文献求助10
1分钟前
英姑的应助被cathe采纳，获得10
1分钟前
子卿完成签到，获得积分0
1分钟前
dream177777完成签到 ，获得积分10
1分钟前
想不出来完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
旱田蜗牛完成签到，获得积分10
1分钟前
旱田蜗牛发布了新的文献求助30
1分钟前
wh完成签到 ，获得积分10
2分钟前
2分钟前
玖玖发布了新的文献求助30
2分钟前
2分钟前
2分钟前
wpj发布了新的文献求助10
2分钟前
赘婿的应助被kekeke采纳，获得10
2分钟前
善学以致用的应助被wpj采纳，获得10
2分钟前
tuanheqi完成签到，获得积分0
2分钟前
2分钟前
yay发布了新的文献求助10
2分钟前
高分求助中
Licensing Deals in Pharmaceuticals 2019-2024 3000
Effect of reactor temperature on FCC yield 2000
Very-high-order BVD Schemes Using β-variable THINC Method 1020
Association Between Clozapine Exposure and Risk of Hematologic Malignancies in Veterans With Schizophrenia 850
錢鍾書楊絳親友書札 800
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 800
Mission to Mao: Us Intelligence and the Chinese Communists in World War II 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3298673
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2933733
关于积分的说明 8464696
捐赠科研通 2606813
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1423443
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 661593
邀请新用户注册赠送积分活动 645152
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通