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Impact of Nanosecond Laser Annealing on the Electrical Properties of Highly Boron-Doped Ultrathin Strained Si0.7Ge0.3 Layers
纳秒激光退火对高掺硼超薄应变Si0.7Ge0.3层电学性能的影响
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期刊:ECS Meeting Abstracts 作者:Richard Daubriac; Rémi Demoulin; Sebastien Kerdiles; Pablo Acosta Alba; Jean-Michel Hartmann; et al 出版日期:2022-07-15 |
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