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标题
Fundamental characteristics of electrostatic wafer chuck with insulating sealant
带绝缘密封剂的静电晶圆卡盘的基本特性
相关领域
薄脆饼 材料科学 静电放电 电介质 光电子学 电压 电极 硅 复合材料 静电学 晶片键合 图层（电子） 电气工程 工程类 化学 物理化学
网址
https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/833768
DOI
10.1109/28.833768 doi
求助人
阳光千山 在 2025-02-06 22:06:19 发布自河北，悬赏 10 积分
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