| 标题 |
 Integration Technology for Wafer-Level LiNbO3 Single-Crystal Thin Film on Silicon by Polyimide Adhesive Bonding and Chemical Mechanical Polishing 硅片级LiNbO3单晶薄膜的聚酰亚胺粘接与化学机械抛光集成技术
相关领域
材料科学
抛光
薄脆饼
复合材料
薄膜
聚酰亚胺
阳极连接
扫描电子显微镜
胶粘剂
化学机械平面化
单晶
旋涂
制作
微电子机械系统
Crystal（编程语言）
硅
涂层
光电子学
纳米技术
结晶学
图层（电子）
程序设计语言
替代医学
化学
医学
病理
计算机科学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Nanomaterials 作者：Wenping Geng; Xiangyu Yang; Gang Xue; Wenhao Xu; Kaixi Bi; et al 出版日期：2021-09-29 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
杳鸢
嗯哼
不配.
乐乐乐乐乐乐
Endlessway
完美的天空
36456657
8R60d8
xjcy
甜甜玫瑰
精明的迎松
一一
shinysparrow
YuanbinMao
Billy
tuanheqi
pluto
HEIKU
pcr163
库昊的假粉丝
皖公网安备34019202002308
