The Moore's Law Machine: The Next Trick to Tinier Transistors is High-Numerical-Aperture EUV Lithography

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标题	The Moore's Law Machine: The Next Trick to Tinier Transistors is High-Numerical-Aperture EUV Lithography 摩尔定律机器：更小晶体管的下一个技巧是高数值孔径EUV光刻相关领域极紫外光刻摩尔定律平版印刷术计算机科学法学光学电信工程类电气工程物理政治学
网址	https://doi.org/10.1109/mspec.2023.10234175
DOI	10.1109/mspec.2023.10234175 doi
其它	期刊：IEEE Spectrum 作者：Jan van Schoot 出版日期：2023-08-29
求助人	鲤鱼不凡在 2024-12-01 22:54:47 发布自广东，悬赏 10 积分
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