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标题
Effect of low frequency voltage waveform on plasma uniformity in a dual-frequency capacitively coupled plasma
双频电容耦合等离子体中低频电压波形对等离子体均匀性的影响
相关领域
容性耦合等离子体 等离子体 电压 波形 原子物理学 电极 化学 材料科学 振幅 分析化学（期刊） 感应耦合等离子体 物理 光学 色谱法 量子力学 物理化学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001732
DOI
10.1116/6.0001732 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science and technology
作者：Shahid Rauf; Peng Tian; Jason Kenney; L. Dorf
出版日期：2022-04-04
求助人
笨笨的仙人掌 在 2024-12-02 22:25:33 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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