Structure design of AlN double-ended tuning fork resonators

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标题	[高分] Structure design of AlN double-ended tuning fork resonators AlN双端音叉谐振器的结构设计相关领域谐振器音叉 Fork（系统调用）光电子学材料科学计算机科学电子工程物理工程类声学操作系统振动
网址	https://doi.org/10.1117/12.2287156
DOI	10.1117/12.2287156 doi
其它	期刊：作者：Lei Qiang; Yang Gao; Chao Han 出版日期：2017-11-15
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