Multi-scale Analysis of Surfactant Effects in TGV CMP for 3D Integration

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标题	Multi-scale Analysis of Surfactant Effects in TGV CMP for 3D Integration 用于三维积分的TGV CMP中表面活性剂效应的多尺度分析
网址	http://dx.doi.org/10.1109/IITC55102.2022.9883276
DOI	10.1109/IITC55102.2022.9883276 doi
其它	作者: T. Nakamura et al. 会议: IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) (2022) 好像是不一定有这个文献
求助人	能能鹤在 2025-02-04 10:47:58 发布自陕西，悬赏 20 积分
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