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 Facilitating Complex Thin Film Deposition by Using Magnetron Sputtering: A Review 磁控溅射促进复杂薄膜沉积的研究进展
相关领域
溅射沉积
薄膜
材料科学
制作
沉积（地质）
溅射
光电子学
高功率脉冲磁控溅射
纳米技术
适应性
工程物理
工艺工程
工程类
生物
替代医学
古生物学
病理
沉积物
医学
生态学
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| 其它 |
期刊：JOM 作者：Jie Li; Guang-Kun Ren; Jiahui Chen; X. Chen; Wenjie Wu; et al 出版日期：2022-04-21 |
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