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 Surface passivation of crystalline silicon by sputtered AlOx/AlNx stacks toward low-cost high-efficiency silicon solar cells 溅射AlOx/AlNx堆叠对晶体硅的表面钝化研究
相关领域
钝化
材料科学
硅
光电子学
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太阳能电池
化学气相沉积
溅射沉积
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纳米技术
薄膜
古生物学
沉积物
生物
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Hyunju Lee; Keigo Ueda; Yuya Enomoto; Koji Arafune; Haruhiko Yoshida; et al 出版日期：2015-07-17 |
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