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标题
Effect of laser scanning speed on geometrical features of Nd:YAG laser machined holes in thin silicon nitride substrate
激光扫描速度对薄氮化硅衬底Nd：YAG激光加工孔几何特征的影响
相关领域
材料科学 氮化硅 激光器 基质（水族馆） 扫描电子显微镜 硅 激光加工 激光扫描 机械加工 复合材料 光学 光电子学 冶金 激光束 物理 地质学 海洋学
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2016.10.199
DOI
10.1016/j.ceramint.2016.10.199 doi
其它 期刊：Ceramics international
作者：Jinyang Zhang; Ying Chun Liang; Shixian Liao; Hua‐Tay Lin; Chengyong Wang
出版日期：2017-02-01
求助人
小东北 在 2024-06-06 10:15:48 发布自湖南，悬赏 10 积分
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