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 Effect of laser scanning speed on geometrical features of Nd:YAG laser machined holes in thin silicon nitride substrate 激光扫描速度对薄氮化硅衬底Nd：YAG激光加工孔几何特征的影响
相关领域
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期刊：Ceramics international 作者：Jinyang Zhang; Ying Chun Liang; Shixian Liao; Hua‐Tay Lin; Chengyong Wang 出版日期：2017-02-01 |
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