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[高分] 学位论文 金属氧化物纳米团簇光刻胶的工艺、分辨率极限及应用研究
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专辑: 工程科技Ⅰ辑;信息科技 专题: 材料科学;无线电电子学 DOI: 10.27135/d.cnki.ghudu.2023.002365 分类号: TB383.1;TN405 导师: 陈艺勤;胡林 学科专业: 机械(专业学位) |
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