CNT pellicles: Imaging results of the first full-field EUV exposures

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标题	CNT pellicles: Imaging results of the first full-field EUV exposures 碳纳米管薄膜：首次全场极紫外曝光的成像结果相关领域极紫外光刻扫描仪材料科学碳纳米管薄脆饼光学极端紫外线耐久性平版印刷术纳米技术光电子学物理复合材料激光器
网址	https://doi.org/10.1117/12.2584724
DOI	10.1117/12.2584724 doi
其它	期刊：作者：Joost Bekaert; Emily Gallagher; R. Jonckheere; Lieve Van Look; Remko Aubert; et al 出版日期：2021-02-23
求助人	nsy 在 2024-09-03 15:20:28 发布自江苏，悬赏 20 积分
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