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 Stitch-Aware Routing for Multiple E-Beam Lithography 多电子束光刻的缝合感知布线
相关领域
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计算机科学
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| 其它 |
期刊：IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems 作者：Iou-Jen Liu; Shao-Yun Fang; Yao‐Wen Chang 出版日期：2015-03-01 |
| 求助人 | |
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