电子回旋共振等离子体源及其刻蚀金刚石膜的研究

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标题	[高分] 学位论文电子回旋共振等离子体源及其刻蚀金刚石膜的研究
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	作者：吴振辉院校：武汉工程大学；专业：材料学；学位：硕士导师：马志斌；提交日期：2009-05-01
求助人	Nobody 在 2024-03-27 16:29:17 发布自上海，悬赏 50 积分
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