Low-loss 800nm-thick PECVD silicon nitride photonic platform on 300-mm wafer

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标题	Low-loss 800nm-thick PECVD silicon nitride photonic platform on 300-mm wafer 300mm低损耗800nm厚PECVD氮化硅光子平台相关领域等离子体增强化学气相沉积薄脆饼氮化硅光电子学材料科学光子学硅光子学硅氮化物混合硅激光器纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.3002146
DOI	10.1117/12.3002146 doi
其它	期刊：作者：Hong Cai; Bo Li; Yiding Lin; Haitao Yu; Steven Lee; et al 出版日期：2024-03-13
求助人	新年快乐在 2024-03-27 10:36:38 发布自江苏，悬赏 20 积分
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