CVD diamond-SiC composite films: Structure and electrical properties

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标题	CVD diamond-SiC composite films: Structure and electrical properties CVD金刚石-SiC复合薄膜的结构与电学性能相关领域钻石材料科学化学气相沉积金刚石材料性能碳化硅拉曼光谱复合材料硅微晶硅烷薄膜等离子体增强化学气相沉积化学工程纳米技术光电子学化学结晶学光学物理工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.diamond.2022.108975
DOI	10.1016/j.diamond.2022.108975 doi
其它	期刊：Diamond and Related Materials 作者：А. Ф. Попович; Artem Martyanov; А.А. Khomich; Pavel V. Fedotov; Sergey Savin; et al 出版日期：2022-05-01
求助人	麓谷在 2024-09-09 10:25:18 发布自湖北，悬赏 10 积分
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