The etching behavior of APCVD PSG thin films used as sacrificial layers for surface micromachined resonant microstructures

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标题	The etching behavior of APCVD PSG thin films used as sacrificial layers for surface micromachined resonant microstructures 表面微加工共振结构牺牲层APCVD PSG薄膜的刻蚀行为相关领域材料科学表面微加工图层（电子）微观结构蚀刻（微加工）体微机械加工光电子学扩散兴奋剂沉积（地质）薄膜纳米技术复合材料制作医学古生物学替代医学物理病理沉积物生物热力学
网址	https://doi.org/10.1016/s0924-4247(01)00902-5
DOI	10.1016/s0924-4247(01)00902-5 doi
其它	期刊：Sensors and actuators. A, Physical 作者：M. Modreanu; Carmen Moldovan; Rodica Iosub 出版日期：2002-04-01
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