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 Catalytic effect of Ag embedded with ZnO prepared by Co-sputtering on H2S gas sensing MEMS device 共溅射ZnO包埋Ag对H2S气敏MEMS器件的催化作用
相关领域
微型加热器
微电子机械系统
材料科学
溅射
兴奋剂
双金属
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薄膜
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期刊：Vacuum 作者：Cheng-Hsueh Chou; Yempati Nagarjuna; Zongcheng Yang; Yu‐Jen Hsiao; Sheng‐Chang Wang 出版日期：2022-08-01 |
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