| 标题 |
 Etch rates for micromachining processing 微机械加工的蚀刻速率
相关领域
材料科学
硅
钨
分析化学（期刊）
氮化硅
蚀刻（微加工）
制作
表面微加工
微电子机械系统
化学计量学
氮化物
纳米技术
冶金
化学
物理化学
医学
替代医学
病理
色谱法
图层（电子）
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：K.R. Williams; R.S. Muller 出版日期：1996-01-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
杳鸢
不安青牛
yyds
juanjuan
Hayat
shinysparrow
樱桃猴子
mmyhn
sutharsons
一一
zing
浮世天堂
Akim
lokiki鸭
快乐若云
Ray羽曦~
Magali
吡咯爱成环
pluto
夏花般灿烂
皖公网安备34019202002308
