Effects of post-annealing temperature and oxygen concentration during sputtering on the structural and optical properties of β-Ga2O3 films

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标题	Effects of post-annealing temperature and oxygen concentration during sputtering on the structural and optical properties of β-Ga2O3 films 溅射退火温度和氧浓度对β-Ga2O3薄膜结构和光学性能的影响相关领域退火（玻璃）材料科学溅射蓝宝石薄膜氧气溅射沉积带隙分析化学（期刊）光电子学冶金光学纳米技术化学物理有机化学激光器色谱法
网址	https://doi.org/10.1116/1.4963376
DOI	10.1116/1.4963376 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Linpeng Dong; Renxu Jia; Bin Xin; Yuming Zhang 出版日期：2016-09-27
求助人	丰富赛凤在 2025-03-04 10:44:27 发布自江苏，悬赏 10 积分
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