Mechanical characterization of LiPON films using nanoindentation

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标题	Mechanical characterization of LiPON films using nanoindentation LiPON薄膜的纳米压痕力学表征相关领域纳米压痕材料科学复合材料无定形固体退火（玻璃）缩进薄膜蠕动模数蓝宝石弹性模量压痕硬度微观结构结晶学纳米技术光学化学物理激光器
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2011.07.068
DOI	10.1016/j.tsf.2011.07.068 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Erik G. Herbert; Wyatt E. Tenhaeff; Nancy J. Dudney; G.M. Pharr 出版日期：2011-08-31
求助人	肖益蓉在 2025-03-11 16:23:13 发布自美国，悬赏 10 积分
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