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标题
Fabrication and characteristics of silicon-rich oxide thin films with controllable compositions
成分可控的富硅氧化物薄膜的制备及特性
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网址
https://doi.org/10.3788/col201614.051603
DOI
10.3788/col201614.051603 doi
其它 期刊：Chinese Optics Letters
作者：Shiyu Zhang; Quanjun Pan; Fang Xu; Kening Mao; Hui Ye
出版日期：2016-01-01
求助人
Blwiny 在 2025-03-13 10:28:35 发布自江苏，悬赏 20 积分
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