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光刻法在柔性基底上制作叉指电极

综合讨论 1198 0
李晓兵
李晓兵 发表于：2022-05-09 22:00:50

请问在绘制光刻所需的电极图案时，图案的尺寸往往是微米级别的，但是在AI等绘图软件中没有这么小的尺寸，所以此时绘制的图案只是示意图性质的吗，在倒入光刻机后可以在上面确定尺寸？求大佬解答💯

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