Ultrasensitive NO2 Gas Detection using ALD-Grown ZnO-SiO2/Si Thin Film-based UV Sensors

薄膜 材料科学 原子层沉积 光电子学 纳米技术
作者
Bhavya Padha,Zahoor Ahmed,Shankar Dutta,Akhilesh Kumar Pandey,Naresh Padha,Monika Tomar,Anjali Sharma,Isha Yadav,Sandeep Arya
出处
期刊:Journal of Alloys and Compounds [Elsevier]
卷期号:: 177673-177673
标识
DOI:10.1016/j.jallcom.2024.177673
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