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Ultrasensitive NO2 gas detection using ALD-grown ZnO-SiO2/Si thin film-based UV sensors

薄膜材料科学原子层沉积光电子学纳米技术

作者

Bhavya Padha,Zahoor Ahmed,Shankar Dutta,Akhilesh Kumar Pandey,Naresh Padha,Monika Tomar,Anjali Sharma,Isha Yadav,Sandeep Arya

出处

期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2024-11-19 卷期号：1010: 177673-177673 被引量：16

标识

DOI：10.1016/j.jallcom.2024.177673

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