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锗 蚀刻（微加工） 材料科学 光电子学 纳米技术 硅 图层（电子）
作者
Binbin Zhu,Bin Shu,Xinyang Sun,Zhichao Yu,Huiyong Hu,Tian Miao,Liming Wang,Ningning Zhang
出处
期刊：Semiconductors [Springer Nature]
日期：2024-07-01 卷期号：58 (7): 571-579
标识
DOI：10.1134/s1063782624601249
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