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Epitaxial lateral overgrowth of AlN on trench-patterned AlN layers
外延
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沟槽（工程）
金属有机气相外延
复合材料
图层（电子）
冶金
作者
Masataka Imura,
Kiyotaka Nakano,
Gou Narita,
Naoki Fujimoto,
Narihito Okada,
Krishnan Balakrishnan,
Motoaki Iwaya,
Satoshi Kamiyama,
Hiroshi Amano,
Isamu Akasaki,
Tadashi Noro,
T. Takagi,
Akira Bandoh
出处
期刊：
Journal of Crystal Growth
[Elsevier]
日期：2006-11-21
卷期号：298: 257-260
被引量：107
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2006.10.043
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