Selective plasma etching of silicon-containing high chi block copolymer for directed self-assembly (DSA) application

共聚物 材料科学 平版印刷术 等离子体刻蚀 蚀刻(微加工) 甲基丙烯酸甲酯 苯乙烯 选择性 纳米技术 化学工程 光电子学 复合材料 聚合物 化学 图层(电子) 有机化学 催化作用 工程类
作者
Maria Gabriela Gusmão Cacho,K. Benotmane,Patricia Pimenta‐Barros,Charlotte Bouet,Guido Rademaker,Maxime Argoud,Christophe Navarro,Raluca Tiron,N. Possémé
出处
期刊:Journal of vacuum science and technology [American Vacuum Society]
卷期号:39 (4) 被引量:4
标识
DOI:10.1116/6.0001102
摘要

Directed self-assembly (DSA) of block copolymers (BCPs) is an advanced patterning technique being investigated to obtain small and dense patterns for future technological nodes. In order to demonstrate the potential of DSA to extend optical lithography, poly(styrene-b-methyl methacrylate) (PS-b-PMMA) has been the most commonly used block copolymer in different applications, such as line/space and contact hole patterning as well as uniformity repair. However, the minimum pitch for the PS-b-PMMA system is limited to around 24 nm due to its relatively weak segregation strength. Therefore, block copolymers with stronger microphase segregation have been developed to enable sub-10 nm patterning, thus obtaining the so-called “high chi” BCPs. In this article, the silicon-containing high chi system investigated is the poly(styrene-b-1,1-dimethylsilacyclobutane) (PS-b-PDMSB) presenting a pitch of 18 nm. A one-step top coat and PS removal based on H2/N2 plasma that presents good selectivity and profile has been studied. The H2/N2 gas ratio has been investigated to understand the trade-off between obtaining high selectivity and avoiding pattern collapse. Using this approach, the pattern transfer into different underlayers is demonstrated for the high chi PS-b-PDMSB.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
彩虹大侠完成签到,获得积分10
1秒前
拼搏诗翠完成签到 ,获得积分10
2秒前
2秒前
火星上昊焱完成签到 ,获得积分10
3秒前
garden发布了新的文献求助10
4秒前
4秒前
我爱学习完成签到,获得积分10
4秒前
panpanliumin完成签到,获得积分0
5秒前
5秒前
细心香烟完成签到 ,获得积分10
6秒前
6秒前
wlscj完成签到,获得积分10
6秒前
华仔应助大意的豌豆采纳,获得10
6秒前
7秒前
7秒前
隐形曼青应助健忘芹采纳,获得10
7秒前
小马甲应助拼搏的无颜采纳,获得10
7秒前
8秒前
garden完成签到,获得积分10
8秒前
peace发布了新的文献求助10
10秒前
欣慰的小甜瓜完成签到 ,获得积分10
10秒前
11秒前
zsp发布了新的文献求助10
11秒前
zlc发布了新的文献求助10
11秒前
12秒前
瞿qks完成签到,获得积分10
14秒前
15秒前
拼搏的无颜完成签到,获得积分10
15秒前
肖遥发布了新的文献求助10
15秒前
Raven应助咩啊咩吖采纳,获得10
15秒前
16秒前
有钱发布了新的文献求助10
17秒前
BiuBiu怪完成签到,获得积分10
17秒前
17秒前
我是老大应助文闵采纳,获得50
19秒前
19秒前
小艾发布了新的文献求助10
19秒前
20秒前
WTaMi发布了新的文献求助10
20秒前
高分求助中
Pipeline and riser loss of containment 2001 - 2020 (PARLOC 2020) 1000
哈工大泛函分析教案课件、“72小时速成泛函分析:从入门到入土.PDF”等 660
Learning and Motivation in the Classroom 500
Theory of Dislocations (3rd ed.) 500
Comparing natural with chemical additive production 500
The Leucovorin Guide for Parents: Understanding Autism’s Folate 500
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5226445
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4397958
关于积分的说明 13687854
捐赠科研通 4262492
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2339139
邀请新用户注册赠送积分活动 1336507
关于科研通互助平台的介绍 1292544