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Nanomechanical properties and thermal stability of Al–N-co-doped DLC films prepared by filtered cathodic vacuum arc deposition

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作者
Pornwasa Wongpanya,Praphaphon Silawong,Pat Photongkam
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier]
卷期号:424: 127655-127655 被引量:19
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2021.127655
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