Enhancing the conversion efficiency of extreme ultraviolet light sources using a 2 µm wavelength laser

激光器 波长 材料科学 电离 辐射 光学 能量转换效率 紫外线 极端紫外线 谱线 发射光谱 光电子学 原子物理学 可调谐激光器 物理 离子 量子力学 天文
作者
Yun Yuan,Y Y,W. P. Wang,Shijia Chen,Yi Cui,Min Zi,Xiaohu Yang,G B Zhang,Yuxin Leng
出处
期刊:Plasma Physics and Controlled Fusion [IOP Publishing]
卷期号:64 (2): 025001-025001 被引量:9
标识
DOI:10.1088/1361-6587/ac3c3a
摘要

Abstract In this study, we use the FLASH radiation hydrodynamic code and the FLYCHK atomic code to investigate the energy conversion and spectra associated with laser–Sn target interactions with 1 and 2 µ m wavelength lasers. We found that the conversion efficiency (CE) reached as much as 3.38% with the 2 µ m laser, which is 1.48 percentage points higher than the 1 µ m laser (CE = 1.9%). In addition, we analyzed the contribution of dominant ionization states to the emission spectrum for both lasers. We observed that the growths of the out-of-band emission eventually led to a broadening of the spectrum, resulting in a reduction of spectral purity for the 1 µ m laser. By contrast, the emission main peaks were all centered near 13.5 nm for the 2 µ m laser, which is beneficial for efficient emission of light with a 13.5 nm wavelength (relevant for nanolithographic applications).
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