Influence of nitrogen partial pressure on the microstructure and morphological properties of sputtered RuN coatings

X射线光电子能谱 溅射 分析化学(期刊) 氮气 微观结构 材料科学 蚀刻(微加工) 粒度 溅射沉积 薄膜 衍射 结晶学 冶金 化学 纳米技术 化学工程 光学 图层(电子) 有机化学 工程类 物理 色谱法
作者
Jorge H. Quintero‐Orozco,Rogelio Ospina,Alexandre Mello,Daniel Escobar,E. Restrepo-Parra
出处
期刊:Surface and Interface Analysis [Wiley]
卷期号:49 (10): 978-984 被引量:5
标识
DOI:10.1002/sia.6256
摘要

In this work, the production of RuN thin films using the reactive direct current magnetron sputtering technique is presented. Samples were grown with varying Ar/N2 ratio with values of 60/40, 80/20, 85/15, 90/10, 95/5, and 100/0. X-ray photoelectron spectroscopy was employed to determine the presence of RuN before and after a sputtering etching process. According to the high-resolution of N1s spectra, 3 peaks were identified at 397.4 ± 0.3 eV, 398.3 ± 0.3 eV, and 398.8 ± 0.3 eV binding energies, corresponding to hybridizations of nitrogen with transition metals, oxynitrides, and oxycarbides. X-ray diffraction analyses were performed, showing the coexistence of the RuN face-centered cubic and Ru hexagonal compact packed phases. After the etching process, the samples grown at nitrogen flow rates greater than 15% continued to show the RuN face-centered cubic phase. Atomic force microscope analyses showed that as the nitrogen concentration increased, the grain size and roughness also tended to increase.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
1秒前
111发布了新的文献求助10
2秒前
平常囧发布了新的文献求助50
3秒前
YCQ完成签到,获得积分10
3秒前
ll应助Strange采纳,获得10
3秒前
鲤鱼听荷完成签到 ,获得积分10
4秒前
sun_lin发布了新的文献求助10
5秒前
zzz完成签到,获得积分10
6秒前
7秒前
7秒前
Eternity完成签到,获得积分10
7秒前
8秒前
9秒前
寒冷寻桃完成签到 ,获得积分10
9秒前
QiJiLuLu完成签到,获得积分10
10秒前
英姑应助大力的诗蕾采纳,获得10
10秒前
11秒前
甜甜圈完成签到,获得积分10
11秒前
Akim应助动听的飞松采纳,获得10
12秒前
12秒前
13秒前
13秒前
dycdz完成签到,获得积分10
13秒前
chong0919发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
oblivious完成签到,获得积分10
15秒前
16秒前
大菊发布了新的文献求助10
16秒前
嗯哼哈哈完成签到 ,获得积分10
16秒前
17秒前
GBRUCE完成签到,获得积分10
17秒前
能干的邹完成签到 ,获得积分10
17秒前
击倒大树的风暴完成签到,获得积分10
17秒前
科研通AI2S应助Strange采纳,获得10
17秒前
自信的谷南完成签到,获得积分10
18秒前
英俊的铭应助qq采纳,获得10
18秒前
18秒前
18秒前
6543210完成签到,获得积分10
18秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Cognitive Neuroscience: The Biology of the Mind 1000
Technical Brochure TB 814: LPIT applications in HV gas insulated switchgear 1000
Toward a Combinatorial Approach for the Prediction of IgG Half-Life and Clearance 500
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3969917
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3514626
关于积分的说明 11175060
捐赠科研通 3249928
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1795165
邀请新用户注册赠送积分活动 875617
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 804891