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Thermal equilibrium concentration of intrinsic point defects in heavily doped silicon crystals - Theoretical study of formation energy and formation entropy in area of influence of dopant atoms-
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作者
K. Kobayashi,
S. Yamaoka,
Koji Sueoka,
Jan Vanhellemont
出处
期刊：
Journal of Crystal Growth
[Elsevier BV]
日期：2016-11-25
卷期号：474: 110-120
被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2016.11.098
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