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作者
Paul Poodt,Adriaan Lankhorst,F. Roozeboom,Karel Spee,Diederik Maas,Ad Vermeer
标识
DOI:10.1002/adma.201000766
摘要
Al2O3 thin films deposited at rates as high as 1.2 nm s−1 using spatially separated atomic layer deposition show excellent solar cell surface passivation properties, i.e., recombination velocities of <2 cm s−1. This disruptive ALD concept opens the way for cost-effective manufacturing with high industrial throughput numbers.
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