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作者
А.Г. Исаев,
O. O. Permyakova,
A. E. Rogozhin
出处
期刊：
Russian Microelectronics
[Pleiades Publishing]
日期：2023-04-01
卷期号：52 (2): 74-98
被引量：2
标识
DOI：10.1134/s1063739723700257
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