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Comparative evaluation of indirectly heated cathode DC ion source and inductively coupled plasma RF ion source for high current ion implanter

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作者
Jong Jin Hwang,Myoungsoo Choi,Taehwan Kim,Sungmook Jung,Sunghwa Lee,Jisoo Lee,K. T. Hwang,H. Choi,Hojun Lee
出处
期刊：MRS Advances [Springer Nature]
日期：2023-01-11 卷期号：7 (36): 1338-1342 被引量：1
标识
DOI：10.1557/s43580-022-00480-3
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