Damage and removal behaviors of indium phosphide crystals involved in ultrasonic vibration-assisted AFM machining

材料科学 超声波传感器 机械加工 原子力显微镜 复合材料 磷化铟 冶金 纳米技术 光电子学 声学 物理 砷化镓
作者
Бо Лю,Chen Li,Yuxiu Hu,О. В. Захаров,Hailong Cui,Mingtao Wu,Yongda Yan,Yanquan Geng
出处
期刊:Materials today communications [Elsevier BV]
卷期号:: 110792-110792
标识
DOI:10.1016/j.mtcomm.2024.110792

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