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Dopant Analysis of SiC MOSFET with Scanning Probe Technique

掺杂剂 MOSFET 材料科学 光电子学 碳化硅 宽禁带半导体 兴奋剂 电气工程 复合材料 工程类 晶体管 电压
作者
Ting Zhang,Yan Liu,Anli Yang,Yupu Wang,Ke Xiao,Bing Yang,Qichao Ding,Zhihong Mai
标识
DOI:10.1109/ipfa61654.2024.10691294

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