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Effects of growth temperature on phase transformation and crystal quality of Ga2O3 films grown on Si/AlN composite substrates by MOCVD

材料科学 金属有机气相外延 复合数 相（物质） 转化（遗传学） Crystal（编程语言） 复合材料 光电子学 外延 图层（电子） 计算机科学 生物化学 化学 有机化学 基因 程序设计语言
作者
Yu Hu,Li Zhang,Tiwei Chen,Zijing Huang,BoTong Li,Huanyu Zhang,Gaofu Guo,Dengrui Zhao,Kun Xu,Xiaodong Zhang,Wenhua Shi,Zhongming Zeng,Baoshun Zhang
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2024-04-25 卷期号：178: 108453-108453 被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108453
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