Disruptive non-fluorinated photoacid generators using computational chemistry and library design

极紫外光刻 氟化物 化学选择性 平版印刷术 化学 可扩展性 纳米技术 计算机科学 材料科学 有机化学 催化作用 光电子学 数据库 无机化学
作者
Paul LaBeaume,Kenneth Hernández‐Burgos,Edon Vitaku,Tomas Marangoni,Emad Aqad,Mingqi Li,Conner Hoelzel,Joseph Lachowski,M. J. S. Hayes,Sabrina Wong,Jingyi Li,Amy Kwok,Wanyi Huang,Jong Hyeok Park,Huan He,Hannah Mackay,Cong Liu,James F. Cameron,Cheng-Bai Xu,Qiuzhe Xie,Karen Petrillo
标识
DOI:10.1117/12.3025297
摘要

Per- and polyfluoroalkyl substances (PFAS) have been identified by various regulatory bodies as substances of concern. In line with the objective of safer and sustainable by design, a comprehensive program has been initiated to address these concerns. Part of this program includes the development of non -fluorinated photoacid generators (PAGs) without introducing new chemicals with unintended consequences. Using computational chemistry and synthetic organic chemistry , several scaffolds amenable to PAG library design have been realized. These novel PAGs offer facile tunability and advantages in many critical design parameters such as pKa, diffusion, absorption, shelf-life stability, and scalability. These early generation non-fluorinated PAGs show competitive and similar lithographic performance compared to fluorinated PAGs in i-line, krypton fluoride (KrF) laser, argon fluoride (ArF) laser and extreme ultraviolet (EUV) lithography.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
整齐的电源完成签到 ,获得积分10
刚刚
iuhgnor发布了新的文献求助10
1秒前
虚幻的香彤完成签到,获得积分10
1秒前
1秒前
1秒前
魔幻的妖丽完成签到 ,获得积分10
3秒前
YouziBa完成签到,获得积分10
3秒前
科研通AI2S应助牛奶拌可乐采纳,获得10
4秒前
MISSIW完成签到,获得积分10
5秒前
高高翅膀完成签到,获得积分10
5秒前
5秒前
皮汤汤完成签到 ,获得积分10
7秒前
萌兰134完成签到 ,获得积分10
7秒前
8秒前
小小aa16完成签到,获得积分10
8秒前
盛夏完成签到,获得积分10
9秒前
Perrylin718发布了新的文献求助10
10秒前
qks完成签到 ,获得积分10
10秒前
火星上的小蚂蚁完成签到,获得积分0
12秒前
青青完成签到,获得积分10
12秒前
14秒前
郭生完成签到,获得积分10
15秒前
天天快乐应助Perrylin718采纳,获得10
15秒前
16秒前
滴答dddd完成签到,获得积分10
18秒前
佩佩发布了新的文献求助10
18秒前
卤蛋红发布了新的文献求助10
19秒前
赘婿应助拉塞尔....采纳,获得10
20秒前
zhaoxiaonuan完成签到,获得积分10
21秒前
张振宇完成签到 ,获得积分10
21秒前
任性的凡完成签到,获得积分10
21秒前
小闵完成签到,获得积分10
21秒前
高桥凉介完成签到,获得积分10
21秒前
samtol完成签到,获得积分10
22秒前
Perrylin718完成签到,获得积分10
22秒前
感性的寄真完成签到 ,获得积分10
23秒前
zyyyyyy完成签到,获得积分10
24秒前
神勇从波完成签到 ,获得积分10
27秒前
27秒前
风中的电脑完成签到,获得积分10
30秒前
高分求助中
Sustainability in Tides Chemistry 2000
The ACS Guide to Scholarly Communication 2000
Studien zur Ideengeschichte der Gesetzgebung 1000
TM 5-855-1(Fundamentals of protective design for conventional weapons) 1000
Threaded Harmony: A Sustainable Approach to Fashion 810
Pharmacogenomics: Applications to Patient Care, Third Edition 800
Ожившие листья и блуждающие цветы. Практическое руководство по содержанию богомолов [Alive leaves and wandering flowers. A practical guide for keeping praying mantises] 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3077826
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2730677
关于积分的说明 7513836
捐赠科研通 2378883
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1261476
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 611562
版权声明 597329