Disruptive non-fluorinated photoacid generators using computational chemistry and library design

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作者
Paul LaBeaume,Kenneth Hernández‐Burgos,Edon Vitaku,Tomas Marangoni,Emad Aqad,Mingqi Li,Conner Hoelzel,Joseph Lachowski,M. J. S. Hayes,Sabrina Wong,Jingyi Li,Amy Kwok,Wanyi Huang,Jong Hyeok Park,Huan He,Hannah Mackay,Cong Liu,James F. Cameron,Cheng-Bai Xu,Qiuzhe Xie,Karen Petrillo
标识
DOI:10.1117/12.3025297
摘要

Per- and polyfluoroalkyl substances (PFAS) have been identified by various regulatory bodies as substances of concern. In line with the objective of safer and sustainable by design, a comprehensive program has been initiated to address these concerns. Part of this program includes the development of non -fluorinated photoacid generators (PAGs) without introducing new chemicals with unintended consequences. Using computational chemistry and synthetic organic chemistry , several scaffolds amenable to PAG library design have been realized. These novel PAGs offer facile tunability and advantages in many critical design parameters such as pKa, diffusion, absorption, shelf-life stability, and scalability. These early generation non-fluorinated PAGs show competitive and similar lithographic performance compared to fluorinated PAGs in i-line, krypton fluoride (KrF) laser, argon fluoride (ArF) laser and extreme ultraviolet (EUV) lithography.
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