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An investigation of slurry erosion analysis for disc hydrodynamic polishing

抛光 材料科学 泥浆 脆性 腐蚀 化学机械平面化 机械 计算流体力学 过程(计算) 制作 机械工程 光学 复合材料 计算机科学 地质学 物理 工程类 古生物学 操作系统 医学 替代医学 病理
作者
Xiang-Min Jiang,Zhong-Chen Cao,Bin Lin,Kailong Li
标识
DOI:10.1117/12.2524642
摘要

Ultra-smooth surface is widely used in aspheric optics elements and astronomical instruments. Fabrication of ultra-smooth surfaces, especially for hard and brittle materials, has always been a challenge to the optics industry. To efficiently produce ultra-smooth surfaces, a novel disk hydrodynamic polishing (DHDP) is proposed. As a non-contact hydrodynamic polishing method for DHDP process, the polishing tool rotates at high speed under the drive of the motor. At this time, a hydrodynamic fluid film is formed between the polishing tool and the workpiece surface. In the gap of fluid film, the velocity and pressure of fluid show a regular gradient, and it drove the solid particles impact the workpiece. Then, the computational fluid dynamics(CFD), solid-liquid discrete phase model (DMP) and erosion model (EM) are combined to track the particles trajectories in the proximity of the workpiece and reveal the erosion theoretical mechanism for DHDP process. The current research has a great significance to analyze the characteristics of the complex interactions between the phases and the erosion of solid particles in DHDP process. The simulation results can also be used to quantitatively predict the local erosion depth on polishing surface.
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