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Rapid Annealing of Silicon

材料科学 退火（玻璃） 硼 掺杂剂 硅 薄脆饼 砷 氩 冶金 兴奋剂 光电子学 原子物理学 化学 物理 有机化学
作者
R. T. Hodgson,V. R. Deline,S. Mader,F. F. Morehead,Jeffrey C. Gelpey
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：1983-01-01 卷期号：23 被引量：13
标识
DOI：10.1557/proc-23-253
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