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Low Temperature Polysilicon Technology: A low cost SOI technology?

数码产品 非晶硅 材料科学 硅 工程物理 收入 电气工程 工程类 光电子学 业务 晶体硅 会计
作者
F. Plais,C. Collet,O. Huet,P. Legagneux,Didier Pribat,C. Reita,C. Walaine
出处
期刊：Springer eBooks [Springer Nature]
日期：2000-01-01 卷期号：: 63-74 被引量：1
标识
DOI：10.1007/978-94-011-4261-8_6
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