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Effects of O2 plasma treatment on moisture barrier properties of SiO2 grown by plasma-enhanced atomic layer deposition

原子层沉积材料科学有机发光二极管硅烷等离子体水分化学工程薄膜图层（电子）吸附沉积（地质）复合材料纳米技术有机化学化学古生物学物理沉积物工程类生物量子力学

作者

Yujin Lee,Seunggi Seo,Il‐Kwon Oh,Sang-Hun Lee,Hyungjun Kim

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2019-06-03 卷期号：45 (14): 17662-17668 被引量：20

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2019.05.332

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